השדה התרמי הוא חלק הליבה של תנור ההתנגדות לוואקום, ואיכותו משפיעה ישירות על ביצועי הכבשן ועלויות התפעול שלו. ישנם עיצובים שונים של שדות תרמיים, וערכת העיצוב הספציפית שנבחרה מבוססת בעיקר על ניתוח ספציפי של זרימת התהליך. השדה התרמי של רוב תנורי ההתנגדות לוואקום כולל ארבעה מרכיבים עיקריים: המחמם והחלקים המחברים שלו, רכיב בידוד החום (או מסך רפלקטיבי), רכיב תומך השדה התרמי והאח הנושא-חומר. לעתים קרובות יש צורך להחליף אביזרים אלו באופן קבוע עקב בעיות חומריות או בעיות בזמן שימוש. אז באילו תנאים צריך להחליף אביזרי שדה תרמי גרפיט, ובאילו תנאים צריך לנקות אותם?
1. באופן עקרוני, אם תוחלת החיים הגיעה לתקופת ההחלפה, יש להחליפו (או לתת לאדם מנוסה לזהות אותה ולהחליט אם להמשיך להשתמש בה). למי שלא הגיע לסוף ימיו ואינו בשימוש זמני, יש לאטום אותם בשקית ניילון, לשים אותם בקרטון ולארוז אותם, לציין את מספר התנור, מספר התנורים, סיבת ההחלפה, מקור, תאריך ושמירה נאותה.
2. לאלה שניזוקו חלקית (כגון שלושה שסתומים שבורים ושסתום אחד שבור) אך לא הגיעו לסוף חייהן, ניתן להשתמש בהם או להחליפם (עבור שלושה-תורי שסתומים חדשים עם תנורים בודדים בלבד, מפקח הסדנה יחליט אם להשתמש בהם לאחר שיבחן אותם. אלו שניתן להשתמש בהם ואפשר להרכיב אותם, אך לא ניתן להשתמש בהם, אך לא ניתן להשתמש בהם, אך לא ניתן להשתמש בהם. בעת איטום ואחסון לשימוש חוזר, מומלץ להשתמש בו בכבשן טיהור.
3. בכל פירוק התנור יש לנקות את התחמוצות בשדה התרמי ולנקות את חדירת הסיליקון על חלקי הגרפיט. יש לנגב בזהירות את צינור ההכוונה ואת כיסוי הבידוד כדי למנוע תאונות של פסולת המזהמת את חומרי הגלם. בטיפול בחלקי גרפיט, בנוסף לתשומת לב לבטיחות האישית, יש לטפל בהם גם בזהירות ולשים לב לבטיחות חלקי הגרפיט.
4. עקבו בקפדנות אחר נהלי ההפעלה של חימום, ערבוב כימי, התכה חזרה, כיבוי תנור וכו', והגן על חלקי גרפיט. לאחר פירוק כל תנור, יש לנקות בקפידה את אביזרי הגרפיט, לבדוק בקפידה את תנאי גבישי הזרע ואביזרי שדה תרמי גרפיט שונים, ולנהל רישומים מפורטים.
5. בדקו האם יש סדקים באביזרי גרפיט, בעיקר בכור היתוך גרפיט, מגשי גרפיט ומוטות כור היתוך גרפיט. אם מתרחשים סדקים, דווחו עליהם מיד למפקח הסדנה והחליפו אותם. אם יש כתמי סיליקון, כדאי לעשות שיקול דעת או לדווח לממונה על הסדנה. מנהיג המשמרת יהיה אחראי על בדיקה וביקורת לפני השימוש ב-5 התנורים לפני חיי השירות הצפוי. לאחר שימוש ב-5 התנורים לפני חיי השירות הצפוי, מפקח הסדנה יהיה אחראי על הבדיקה והסקירה.
6. לאחר סיום חיי השירות של אביזרי גרפיט, יש להסיר את אביזרי הגרפיט (מגש גרפיט, מוט כור היתוך, כור היתוך גרפיט) וחלקים אחרים העלולים לגרום להפסדים כבדים עקב שימוש מאוחר ולהחליף אותם בחדשים. יש לאטום ולעבד את אביזרי הגרפיט המוחלפים לאחר בדיקה משותפת על ידי סדנת הגביש היחיד, המחלקה הטכנית ומחלקת הייצור. אביזרים אחרים, כגון תנורי חימום, גלילי בידוד, גלילי מובילי זרימה וכו', צריכים להיבדק בקפידה כדי לראות אם יש סדקים ופגמים. באופן עקרוני, ניתן להמשיך להשתמש באביזרי גרפיט אלו אם אין פגמים שהוזכרו לעיל. יש לשמור רשומות מפורטות של אביזרי שדה תרמי גרפיט שנראים ממולאים.
7. שמור תיעוד מפורט של אביזרי שדה תרמי גרפיט הגורמים לתאונות. יש לשמור רישומים מפורטים של אביזרי גרפיט בעייתיים ולהציב אותם במקומות ייעודיים כדי למנוע בלבול.